复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（clean tunnel）：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ulsi制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：a.弹性扩充容易； b.维修设备时可在维修区轻易执行。
在电子元件制品的制造过程中，微粒子污染对成品率有重大影响，无尘室设备搬迁公司电话，故应在过程中严格控制微粒子的数量，遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。
无尘室内的浮游微粒子浓度，使用的过滤器即可容易达到零水平，泰州无尘室设备，实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，无尘室设备定位安装方案，在制造品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。
无尘车间地址的选择应符合有利生产、方便生活、节省投资和经营费用的原则。厂址应设在自然环境和水质较好，---含尘浓度较低，地形、地物、地貌造成的小气候有利于生产、节能的区域，应远离大量散发粉尘、烟雾、有害气体和微生物的区域，如机场、铁路、码头、交通要道等，并在污染源和全年---风向的上风侧面，且有一定的防护距离。无尘车间与交通主干道间距宜50米以上。
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