无尘室设备搬迁公司电话-台州无尘室设备-卓宇泰

     复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（clean tunnel）：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，无尘室设备搬迁公司电话，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ulsi制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：a.弹性扩充容易； b.维修设备时可在维修区轻易执行。

    层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，无尘室设备拆卸运输公司，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室等级为class 1~100。

   其型式可分为二种：

   ⑴水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，灰尘随风向排出室外，一般在---侧污染较---。

   优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。

   ⑵垂直层流式：房间---完全以ulpa过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

   优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。

   缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，---之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。