无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素,一般无尘室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一---之影响而保持洁净度、但因风速的提高,无尘室设备吊装搬迁报价,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以适当的风速供应,无尘室设备拆卸运输公司,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
除了人员进出洁净室须予以规范管理外,原材料及设备进出也必须经过洁净程序,方不至于影响洁净室洁净度。其进洁净室流程如表8-4所示。至于搬出则反向而行,但不须经洗涤程序。原材料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10,000级房间,工作人员于其室内清洁设备或原材料时必须穿着清洁衣服,所使用擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛无尘布,清洁剂除了使用超纯水之外,台州无尘室设备,并加入3~5%浓度的ipa或化学品,以增强去污能力,由于ipa具挥发性故此房间排气效果须---考虑。搬迁设备时为免破坏地板支架及地板表面,必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板,作为辅助。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道(clean tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,无尘室设备定位安装方案,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ulsi制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:a.弹性扩充容易; b.维修设备时可在维修区轻易执行。
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