洁净室（无尘室）吸尘器的主要组成：
大扒头：当清扫地面面积较大时，使用大扒头可有效快速的提高工作效率。
小扒头：清扫面积相对较小时，小扒头可方便快捷的扫除工作台底部的灰尘和颗粒。
圆毛刷：工作范围主要集中在工作台台面，清楚工作台面细微的小颗粒
伸缩杆：增大清扫范围领域。
软管：机器正常工作时，吸收的小颗粒，灰尘，杂物，经过吸口有软管传递到过滤系统。
集尘袋：洁净室吸尘器的过滤系统，也是为重要的环节，收集人眼能分辨的小颗粒，对保护马达和过滤器有重要作用。
电源开关：控制吸尘器的启动和关闭。
过滤器：过滤器是吸尘器的第四大过滤系统，也是后一个环节，过滤器能过滤0.012um的小颗粒，过滤之后的空气达到100级以上。
无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予---设计之房间。 单流向型无尘室，很多都是设计成垂直层流，因此风速均匀度非常重要，只有均匀的垂直层流，才能有效排除微粒污染。非单流向型无尘室，由于微粒控制的观念是稀释，不是立即排除，一般而言其换气量远比风速重要，因此多只需要测量风量。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（clean tunnel）：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，无尘室设备吊装搬迁报价，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ulsi制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：a.弹性扩充容易； b.维修设备时可在维修区轻易执行。
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