清洁室内用品除了进出洁净室用的洁净衣、防静电鞋、头罩、帽、手套、口罩外,尚有如纸张文具桌子、椅子、晶片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、真空洗尘器等。洁净衣材料以洗后或使用其他处理后仍不会变质或发尘者为基本条件,杨浦区无尘室设备搬迁作业方案,且其布料为不燃、不起毛,其织法或布料组织不易通过污染物和不易附著污染物材质,另外经过摩擦不产生静电或带电性非常,洗涤再生容易、不易皱、著衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩材质为无尘纸(或无纤纸)制成,帽子材质则与洁净衣同,厂房无尘室设备搬迁作业方案,二者在穿戴使用时,工厂无尘室设备搬迁作业方案,除了只露出眼睛或脸表---分外,其他部分均须包覆,在头部部分连接上衣处也必须完全盖住,不能留有空隙,头发亦不能露出来。
(1)ffu用于老建筑物改造成洁净室时,其综合经济性一般往往可取。
(2)洁净度要求严的洁净室,末级过滤器满布率100%时,对大的系统采用ffu,当前还是不经济的;对小系统有意义作具体比较。
(3)对洁净度要求不甚严的洁净室,末级过滤器满布率≤40%时对大系统综合经济性往往相差不多,工厂无尘室设备搬迁作业方案,但对ic工厂而言ffu系统的灵活性是重要的,因此当前ic工厂对过滤器满布率≤40%时,采用ffu系统已经普遍。
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每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的a。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于a,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1k级别。
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